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隨著智能手機等消費電子產(chǎn)品市場的不斷擴大，加速計的需求也將大幅增加。這種小型化、量產(chǎn)化的加速度計通常采用硅MEMS技術(shù)開發(fā)，其制造工藝已經(jīng)非常成熟。那么具有更高靈敏度和更低噪聲的MEMS加速度計是怎樣的？

　　在加速度計的設(shè)計中，尺寸減小和降低噪聲是一個矛盾體，因為布朗噪聲主導(dǎo)的機械噪聲與稱為檢驗質(zhì)量的移動電極的質(zhì)量成反比。此外，電容式加速度計的靈敏度通常與加速度計尺寸成正比，因此在尺寸減小和靈敏度增加之間也存在矛盾。由于高分辨率加速度計需要低噪聲和高靈敏度性能，因此傳統(tǒng)的基于硅的MEMS加速度計難以檢測1μG電平的加速度。

由東京工業(yè)大學(xué)和NTT先進(jìn)技術(shù)公司的研究人員組成的研究小組此前提出了一種方法，通過使用金材料將MEMS加速度計的檢驗質(zhì)量尺寸縮小到不到十分之一。在這項工作中，作為這一研究成果的延伸，他們在檢測質(zhì)量和彈簧組件上采用了多層金屬結(jié)構(gòu)，并開發(fā)了一種低噪聲、高靈敏度的MEMS加速度計。

　　通過使用多層金作為檢驗質(zhì)量結(jié)構(gòu)，通過增加單位面積質(zhì)量，它們減小了布朗噪聲，其與檢驗質(zhì)量成反比。

　　此外，他們通過減少檢測質(zhì)量的翹曲來利用4平方毫米芯片的整個區(qū)域，這使它們能夠增加加速度計的電容靈敏度。

　　新型加速度計的靈敏度較之前技術(shù)高100倍，相同尺寸的噪音降低十分之一，如下圖所示。因此，該加速度計可以檢測低至1μG的輸入加速度。

　　該加速度計可應(yīng)用于醫(yī)療技術(shù)、基礎(chǔ)設(shè)施監(jiān)測、超輕型機器人、機動車輛控制、GPS無法使用的高精度控制導(dǎo)航系統(tǒng)以及需要超低加速度傳感的空間環(huán)境測量。

　　本文主要介紹“具有更高靈敏度和更低噪聲的MEMS加速度計是怎樣的”，希望以上內(nèi)容對你有幫助，如果想了解更多MEMS加速度計相關(guān)資訊，敬請關(guān)注天羿領(lǐng)航。